Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств, Электронные радиационные технологии, Иванов В.И., 2019

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств, Электронные радиационные технологии, Иванов В.И., 2019.

   Серия «Университеты России» позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных приборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются потоки ускоренных электронов и гамма-излучения. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и фокусировку данных видов ионизирующих излучений.
Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.




Ионизационные потери.
Различаются два основных вида электронно-электронных взаимодействий: коллективные и одиночные.

При одиночных взаимодействиях с орбитальными электронами атома вещества ускоренные электроны передают им часть своей энергии, вследствие чего они переходят на орбиты большего радиуса (возбуждение) или отрываются от атома (ионизация). Направление движения ускоренного электрона изменяется.

При коллективных возбуждениях налетающие электроны взаимодействуют с системой валентных электронов вещества, которую рассматривают как плазму свободных электронов в поле однородно распределенного положительного заряда. При возбуждении такой плазмы возникают колебания электронной плотности на дискретных квантовых частотах, зависящих от концентрации электронов и свойств материала.

Квант энергии плазменных колебаний - плазмой считается квази частицей вещества, обладающей определенной энергией и импульсом. Время жизни плазмона составляет не более 10-16 с. При их распаде выделяется энергия, которая либо уносится электромагнитным излучением (излучение Лилиенфельда), либо передастся одному из электронов вещества, либо переходит в теплоту. Каждому веществу соответствуют свои значения энергии плазмонов, лежащие обычно в диапазоне от 3 до 30 В.

ОГЛАВЛЕНИЕ.
Предисловие.
Список основных сокращений.
Введение.
В.1. Параметры и характеристики ВИИ.
Глава I. ОСОБЕННОСТИ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ УСКОРЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ И ГАММА-ИЗЛУЧЕНИЯ С ВЕЩЕСТВОМ.
1.1. Упругое рассеяние электронов в веществе.
1.2. Неупругое рассеяние электронов в веществе.
1.2.1. Радиационные потерн.
1.2.2. Ионизационные потери.
1.3. Пробег электронов в веществе.
1.4. Вторичная электронная эмиссия.
1.5. Взаимодействие электромагнитного излучения с веществом.
Глава 2. ЭЛEKTPOННО-ЛУЧЕВЫЕ МЕТОДЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ И АНАЛИЗА ИЗДЕЛИЙ РЭА.
2.1. Электронная спектроскопия.
2.2. Фотоэлектронная спектроскопия.
2.3. Дифракция электронов.
2.4. Электронная Оже-спектроскопия.
2.5. Растровая электронная микроскопия.
2.6. Вторично-ионная масс-спектроскопия.
2.7. Рентгеновская дефектоскопия.
2.8. Рентгеновская микроскопия.
2.9. Рентгеноструктурный анализ.
2.10. Пример методики проведения рентгеноструктурного анализа электрокерамики.
Глава 3. НЕТЕРМИЧЕСКИЕ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ.
3.1. Обратимые радиационные изменения в высокоомных материалах.
3.1.1. Радиационная электропроводность.
3.1.2. Накопление объемного заряда.
3.1.3. Получение радиоэлектретов.
3.2. Необратимые радиационные изменения в полимерных материалах.
3.2.1. Модификация свойств полиэтилена.
3.2.2. Применение радиационно-модифицированного полиэтилена.
3.3. Электронная литография.
3.3.1. Сущность процесса микролитографии.
3.3.2. Устройства электронно-лучевой литографии.
3.3.3. Электронные резисты.
3.3.4. Проекционная электронная литография.
3.3.5. Рентгеновская литография.
3.4. Радиационная модификация металлов.
3.5. Радиационная активация катодов
электровакуумных приборов.
3.5.1. Оксидные катоды.
3.5.2. Вторично-эмиссионные катоды.
3.6. Диффузионная сварка.
Глава 4. ТЕРМИЧЕСКИЕ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ.
4.1. Параметры электронного луча.
4.2. Тепловое воздействие электронного луча.
4.2.1. Условия перехода к взрывному вскипанию материала.
4.3. Электронно-лучевая термообработка.
4.4. Электронно-лучевой локальный переплав.
4.5. Электронно-лучевая плавка.
4.6. Электронно-лучевая сварка.
4.7. Нанесение покрытий электронно-лучевым испарением.
4.8. Электронно-лучевая размерная обработка.
4.9. Электронно-лучевой отжиг.
Глава 5. РАДИАЦИОННО-ТЕРМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ.
5.1. Радиационно-термическое спекание ферритовой керамики.
5.1.1. Радиационно-термическое спекание.
5.1.2. Уплотнение ферритовых прессовок.
5.1.3. Феноменология спекания ферритов.
5.1.4. Влияние нормализующею отжига пресс-порошков на РТ-уплотнение ферритов.
5.1.5. Изменения магнитных и электрических свойств ферритов при РТ-спекании.
5.1.6. Фазовые превращения в ферритах при РТ-спекании.
5.1.7. Радиационно-термические технологии в производстве радиокерамики.
5.1.8. Выводы.
Глава 6. ПОЛУЧЕНИЕ УСКОРЕННЫХ ПУЧКОВ ЭЛЕКТРОНОВ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ.
6.1. Основные узлы электронно-лучевых установок.
6.1.1. Электронные пушки.
6.1.2. Рабочая камера с вакуумной системой.
6.1.3. Системы питания и управления.
6.2. Ускорители электронов.
6.2.1. Высоковольтные линейные ускорители электронов.
6.2.2. Линейные резонансные ускорители.
6.3. Промышленное технологическое лучевое оборудование.
6.3.1. Электронно-лучевые установки.
6.3.2. Техника безопасности.
Литература.
Список основных обозначений.
Авторский коллектив.
Содержание.

Купить .





Теги: учебник по электронике :: электроника :: электротехника :: Иванов