Книга посвящена физике поверхности. Она дает необходимую вводную информацию для исследователей, которые только начинают работать в данной области. Книга содержит все наиболее важные аспекты современной науки о поверхности от экспериментальной базы и основ кристаллографии до современных аналитических методов и их использования в изучении тонких пленок и наноструктур.
Для специалистов в области физики поверхности, аспирантов, студентов старших курсов инженерных и физических специальностей.
Ионное распыление и отжиг.
Поверхностные загрязнения могут быть распылены вместе с верхним слоем образца с помощью бомбардировки поверхности ионами инертных газов (обычно для этой цели используется Аr+). Для того чтобы получить пучок ионов, газ напускается через натекательный вентиль либо внутрь ионной пушки (рис, 2,16). либо во всю СВВ камеру целиком. Ионизация атомов газа проводится электронным ударом » ионизаторе ионной пушки. Электроны излучаются с катода. Полученные ионы вытягиваются из ионизатора, ускоряются до желаемой энергии (обычно 0,5-5.0 кэВ) и направляются на образец.
Ионное распыление - очень эффективный метод очистки. Однако он имеет побочный эффект: ионная бомбардировка разрушает структуру поверхности. Поэтому после бомбардировки необходим отжиг, для того чтобы восстановить кристаллическую структуру поверхности и удалить атомы Аr, внедренные а объем и адсорбированные на поверхности.
Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Введение в физику поверхности, Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М., 2006 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.
Скачать djvu
Ниже можно купить эту книгу, если она есть в продаже, и похожие книги по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить книги
Скачать - djvu - Яндекс.Диск.
Дата публикации:
Теги: учебник по физике :: физика :: Оура :: Лифшиц :: Саранин :: Зотов :: Катаяма
Смотрите также учебники, книги и учебные материалы:
Следующие учебники и книги:
Предыдущие статьи:
