Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.









Подписаться на RSS ленту ГДЗ, ЕГЭ, ГИА, подготовка к экзаменам, книги, готовые домашние задания, наука и обучение, анекдоты, презентации, словари, все для преподавателей, школьников для всех классов и студентов всех курсов. А ты Нашёл то, что тебе нужно?